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数值孔径计

数值孔径计

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数值孔径计

数值孔径计是用于直接测定显微镜物镜数值孔径的机械领域仪器,其核心参数公式为A=nsinU(空气中A=sinU),主要应用于显微镜 。

该仪器由玻璃半圆柱体构成,通过45度斜面实现全反射光路转折,圆柱表面设有内外两组刻度分别标示孔径角的正弦值及角度值。镀铝狭缝与可旋转金属框联动机构配合,通过调整光路使狭缝成像于目镜物方焦点,观测被测物镜出瞳范围对应的像方孔径角 。测量低倍物镜时需移动金属框使十字线与亮斑边缘两次相切取均值;高倍物镜需加装辅助物镜组件构成辅助显微镜系统进行观测 。

高数值孔径技术在光刻领域应用时可通过增大数值孔径提高分辨率 。

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