Simone有机砷源
的有关信息介绍如下：
有机砷源是一类用于金属有机化合物气相沉积（MOCVD）的挥发性、高纯度有机砷化合物，主要作为砷烷的替代品使用。其代表化合物包括三甲基砷、三乙基砷、苯基砷烷及叔丁基砷烷等类型 。该类化合物主要通过格利雅反应制备，并采用精密精馏、减压精馏及配位体置换技术进行提纯，部分工艺通过去除前后馏份可使纯度达6N（无机元素＜1ppm）且合成收率达70%以上 。
有机砷源的液态形式具有可燃性与毒性，但相较砷烷毒性显著降低。其中叔丁基砷烷为无色液态物质，与空气接触易氧化形成砷-氧化物，其常温下饱和蒸气压低且沉积效率较高。该类化合物主要用于III-V族化合物半导体材料的低温外延生长，如GaAs沉积的砷源 。
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