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PSD(光电探测器件)

PSD(光电探测器件)

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PSD(光电探测器件)

PSD(Position Sensitive Device)是一种利用半导体横向光电效应实现光点位置精确测量的非离散型光电探测器件,由传感器、处理元件、激光源等组成 。

根据输出信号维度,PSD分为一维和二维两类,其中二维类型包含四边形、双面型及枕形等结构 。其核心原理是通过光电流与入射光点位置的线性关系计算坐标,具有分辨率高(优于0.1μm)、响应速度快、光谱范围宽(200nm-15μm)等技术优势 。PSD广泛应用于工业自动化、激光加工定位、兵器制导及机器人传感等领域,典型产品包括瑞士Green TEG公司的热电式探测器及德国TEM Messtechnik GmbH公司的4DPSD位敏探测器 。

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